专利详情

CN116368604A 一种石墨盘

有效

授权

申请日：2020.11.12

IPC分类号：H01L21/673

公开日：20230630

申请人：苏州晶湛半导体有限公司

发明人：程凯;张丽旸

专利详情

PDF

发明名称

一种石墨盘

摘要

一种石墨盘(10)，包括石墨盘本体(11)，石墨盘本体(11)包括凹槽(12)和位于凹槽(12)底壁上的多个凸起(13)，多个凸起(13)将凹槽(12)划分为彼此独立的多个区域(Q)。利用凸起(13)在凹槽(12)中限定出多个区域(Q)，每个区域(Q)将对应一个衬底，不同区域(Q)之间彼此互通，增大了气体流通空间，缓解了由于气流原因导致的边缘偏厚问题。

著录项目

申请号：CN202080106823.6

公开（公告）号：CN116368604A

申请日：2020.11.12

公开（公告）日：20230630

优先权：20201112 CN PCT/CN2020/128390

同族：中国$美国$世界知识产权组织(WIPO)

同族引用文献：4

同族施引专利：0